近来,随着超精密制造的发展,越来越多的精密光学材料被广泛的应用于空间科学、国防以及民用等领域中,其中大口径KDP(磷酸二氢钾)材料凭借其优越的材料属性被广泛应用于激光系统中,而加工高质量KDP最关键的设备则是有着良好加工性能KDP飞切机床,但是影响KDP飞切机床加工性能的因素有很多,包括主轴的回转精度、静压导轨的定位精度以及合理的刀架结构。保证液体静压导轨定位精度的前提是供油系统的输出压力稳定,如果静压导轨外供压力源存在着压力脉动,这个压力脉动会导致进入导轨支撑面间的油膜压力发生变化,而动、静导轨在变化的油膜压力作用下会发生浮动以及变形,继而对导轨的刚度和直线度等性能造成影响,但是有关这方面的研究却很少,本文就是从静压导轨外供压力源的压力脉动出发展开研究。从静压导轨压力源的压力脉动开始,对液压回路中主要元件内外转子式摆线泵、溢流阀、节流孔以及蓄能器进行了理论分析,将各个元件连入液压回路中,利用液电等效电路对整个液压回路以及影响液压回路中压力脉动的因素做进一步分析;从理论上分析动、静导轨支撑面间的压力与油膜厚度的关系,建立出油膜厚度与压力源的压力间的关系表达式。先通过建立液压回路中泵与溢流阀的CFD仿真模型得出其压力脉动特性曲线;然后在Amesim液压系统仿真软件中建立节流孔与蓄能器子模型并搭建整个液压回路模型,根据之前得到的泵与阀的压力脉动曲线来设置回路中子模型(内外转子式摆线泵与溢流阀)的参数,计算分析液压回路中压力波动情况及影响整个液压回路压力脉动的因素,最后实验检验液压回路中的压力波动值,对比分析实验结果与仿真结果之间的误差。建立液体静压导轨单向的流—固耦合模型,将液压回路实验检测得到的压力波动曲线作为流—固耦合模型的边界条件,计算不同压力脉动下流体域的变化以及动导轨的变形情况,再根据油膜厚度表达式可从理论上得到不同压力脉动下对应的动导轨左侧中点处沿竖直方向的位移,对比仿真结果与实验检测出的位移值差距,并分析造成差距的原因;最后在不同压力脉动下去飞切加工KDP晶体,对比分析材料表面质量的改善情况。