【摘 要】
：
硅纳米线围栅器件结构凭借其理想的短沟道抑制能力和高驱动电流,是适合于纳米尺度领域应用的最理想器件结构。北京大学已经提出了一种基于“Top-down”工艺制备硅纳米线围栅
论文部分内容阅读
硅纳米线围栅器件结构凭借其理想的短沟道抑制能力和高驱动电流,是适合于纳米尺度领域应用的最理想器件结构。北京大学已经提出了一种基于“Top-down”工艺制备硅纳米线围栅器件的方法。本论文中,我们首先对制备硅纳米线的牺牲氧化工艺进行了系统研究,给出了不同氧化温度、氧化时间,初始线宽对纳米线最终形貌的影响,并制备出了直径为5nm的硅纳米线。同时基于传统CMOS工艺制备出了窗口电压为2.5V的硅纳米线SONOS器件。但此工艺会产生寄生的底管SONOS。为了改善纳米线SONOS器件的特性,我们提出了一种抑制底管的方法。最后,基于SOI衬底制备出了硅纳米线围栅晶体管。获得NMOS和PMOS器件的电流开关比分别为1×10~7和1×10~6,亚阈值斜率分别为75～80mV/dec和65～70mV/dec,这展示了纳米线围栅器件结构在集成电路中的巨大应用前景。
其他文献
区域合作是改革开放以后实行的很重要的对外开放战略。今年是《中俄睦邻友好合作条约》签署15周年，也是中俄两国建立战略协作伙伴关系20周年。为深入贯彻习近平总书记提出的“
如何理解特殊侦查措施,学界存在多种不同的观点。将特殊侦查措施视为秘密侦查的等同物,是符合《办理死刑案件证据规定》第35条立法精神与宗旨的理解。特殊侦查措施所获证据材
近年来,随着《政府信息公开条例》的实施,我国政府逐渐完善了信息公开制度,行政主体的行政行为透明度也得到了很大提高。政府信息公开制度的完善推动了我国法治政府建设进程,
目的探讨影响先天畸形(congenital malformations,CMs)发生的危险因素,并评估其对其他不良妊娠结局(adverse pregnancy outcomes,APOs)的影响。方法应用前瞻性队列研究方法,
给出了一种全新的膜系设计方法,该方法与目前常用的偏振分束器PBS分光镜所采用的多组膜堆周期膜系的设计方法有着本质上的区别。全新的PBS膜系的设计引入一种有序对偶递变方
在当今社会,数字图像处理技术己变得越米越重要,在机器人技术、自动驾驶技术、遥感、四轴飞行器等领域得到了广泛的应用。而随着大数据时代的到来,人们对于数据的处理速度、
现有的数字光处理投影(DLP)系统采用色轮和中继透镜等元器件,由此导致投影系统结构复杂。针对现有技术的缺陷,本文设计了一种以三色LED作为照明光源,以梯度折射率透镜形成平
乐视造车，动作频频，舆论也从来都是沸沸扬扬。从犹抱琵琶半遮面到概念图曝光赚足了眼球。
采用硫化仪分析2种天然橡胶的硫化过程，探讨了炭黑和硫化温度对硫化诱导期、正硫化时间和最大转矩的影响。研究结果发现：微生物凝固胶和酸凝固胶的硫化诱导期和正硫化时间随硫
在半导体市场需求快速变化和行业竞争白热化的背景之下,缩短产品的加工周期、提高设备利用率和产品质量,是企业保持盈利和较强市场竞争力的重要手段。而要改善半导体生产线的