随着半导体技术的快速发展,微波半导体大功率器件应用于越来越广泛的领域,而对其性能参数的准确测量在微波电路的设计和应用中具有极为重要的作用,尤其是在大功率信号下直接对功率器件的各种参数的测量,更是综合测试技术中的研究热点。氮化镓（GaN）功率器件兼具大功率和高频率的特点,是无线通信的关键部件之一。在GaN功率器件的微波性能评估中,实物负载牵引系统是测量大信号参数最为先进的方法之一。因此,本文针对应用于GaN功率器件的负载牵引系统进行研究,主要工作如下:（1）通过对负载牵引技术基本原理的研究,针对GaN功率器件的宽频率、高输出的特性,综合考虑搭建系统所能承受功率、损耗和反射系数等因素,选取了合适的硬件集成方案,并结合自主设计的动态电流检测模块,成功搭建了频率范围为8²8GHz,功率为10W的无源式、基波测量的电动机械式管芯负载牵引系统。（2）通过对阻抗调配器工作原理的分析,用软件设计拟合了控制模型,组建了计量校准系统,完成了基于矢量重复性的校准及整个系统的校准,最终系统经校准验证,满足测试精度要求。（3）为了解决系统在高频段对GaN器件无法精准测量的困难,在对其误差分析的基础上,设计了多频段信号驱动、直流偏置网络改善及器件预匹配的方案,提高了系统的测试精度,提升了系统测试能力覆盖的全面性。（4）对栅宽400um的GaN功率器件进行了10GHz的负载牵引测试和功率扫描测试,在V_ds=28V,I_dsq=75mA/mm连续波条件下,器件最大增益为14.2dB,功率密度为8.26W/mm,最大功率附加效率为56.7%。研究对比了不同频率下,器件的输出功率、增益与功率附加效率的变化。经分析,该负载牵引系统测试结果稳定性较高,验证了其在GaN功率器件的生产监控及研发评估中的有效性。