【摘 要】
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本论文介绍了集成电路芯片特性的检测分析和故障诊断的几种测量技术,针对这几种技术在实际应用中存在的问题,本论文首次设计制作成功一种极化聚合物薄膜电场探测器,籍助参考
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本论文介绍了集成电路芯片特性的检测分析和故障诊断的几种测量技术,针对这几种技术在实际应用中存在的问题,本论文首次设计制作成功一种极化聚合物薄膜电场探测器,籍助参考电极的作用可校准微带传输线中的电压信号幅度;首次用实验验证极化聚合物薄膜电场探测器对电场变化的空间分辨率可以达到0.5μm;在本实验室首次研制成功DR-1/Silica复合电光薄膜,其电光系数在室温下长期不变,在80℃下经1000小时未见衰减,这种稳定性在国内至今未见报导,可用于电光探测器的制作。本论文阐述了利用外加电场使有机电光材料获得宏观非线性取向的原理;并给出了其电光效应的原理;并结合正面入射式电光探测系统阐述并推导了其实现标定电压测量的工作原理。利用有限差分法模拟计算了集成电路共面波导信号线与接地线的不同布线对空间电势分布的影响。
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