高精度PZT微位移装置及FTIR技术原理研究

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该文以压电陶瓷堆(PZT)微位移驱动器为主要研究对象,从理论上分析了其微位移产生机理,提出了对微位移量的精确测量方法及非线性校正方法.并开拓压电陶瓷堆驱动 器的应用领域,研究了人眼安全1.54μm波长饵玻璃激光器的FTIR调Q原理装置,并对 其进行了速率方程的数值模拟计算.
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