高速原子力显微系统关键技术研究

来源 :天津大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户：zhangyutinglzl

【摘要】

：

原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是微纳米尺度几何及物性信息的重要测量工具,在基础研究和半导体工业领域中均有着广泛应用。但随着各领域中研究的不断深入,AFM较慢的成像速度限制了其应用。尽管学术界已建立了多种提高成像速度的方案,但这些方案为了追求速度往往牺牲了其他性能。本文从仪器架构角度出发,较为全面地分析了现有AFM的结构布局和关键环节的延时特性,深入分析了制约

【作者】

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刘璐

【机构】

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天津大学

【出处】

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天津大学

【发表日期】

：

2019年01期

【关键词】

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高速成像原子力显微镜显微系统扫描范围成像速度线速度关键环节 AFM 样品性能的降低光栅式扫描方案

【基金项目】

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