稀土Nd掺杂FeCo纳米磁性薄膜的结构和磁性

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【摘要】

：

随着电子设备小型化、高频化的不断发展,应用于电磁器件的高频软磁材料成为一个十分活跃的研究领域。理论和实验表明,CoFe基软磁性薄膜在获得高微波磁导率方面优于其它磁性薄膜,而稀土元素的掺杂可从本质上影响Co基非晶薄膜的复数磁导率特性,稀土元素的适量加入可提高共振频率,提高其高频软磁性能。本文中,我们利用射频磁控共溅射方法,在不同的衬底条件下,通过改变Nd靶溅射功率,制备了一系列Ta/Nd_x(FeC

【作者】

：

张喆

【机构】

：

兰州大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

FeCo Nd 薄膜样品磁性测量饱和磁化强度薄膜技术磁滞回线图共溅射潜在应用前景退火温度

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