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微米亚微米、纳米材料因其表面的原子数多，具有许多悬空键和不饱和键的性质，因而会表现出很好的化学、催化性能。低熔点金属若能制成催化剂，将大大降低目标物质生成温度和能耗。本文主要讲述，在垂直射频感应中用CVD方法制备微米、亚微米级二氧化硅包裹的镓球，和在透射电镜中用电子束辐照的方法制备纳米金属催化剂—镓。主要结果如下：（1）通过CVD方法，在垂直射频感应炉中制备出了由二氧化硅包裹的微米亚微米级镓球颗粒，解释了二氧化硅包裹镓球的生长机制。（2）在透射电子显微镜中，通过对微米亚微米级二氧化硅