开展表面微观几何结构的制备技术研究,对于有效地控制表面性能具有重要的意义。激光表面加工相较于其他表面技术具有非接触,无污染,加工精度高等优点,常用于固体表面微观几何结构的制备。常规的激光刻蚀系统采用曲率半径较大的聚焦镜,在微尺度加工方面有一定的局限性。本文提出了一种基于光纤聚焦的激光表面织构加工方法,并研制了一套包括聚焦系统,调焦系统及传感器的加工装置。通过大量的实验对制备参数进行了优化,在Si及Cr12Mo1V1表面分别加工出了最小线宽为2.30μm和3.14μm的表面微观织构。利用三维形貌仪和电镜对加工表面进行了观察,分别研究了激光能量、脉冲次数、聚焦位置、光纤直径、刻蚀环境及后期处理对单线刻蚀的几何结构尺寸的影响。借助三维工作台进行了间距为20μm-100μm不等的平行沟槽和网格织构的加工。用接触角测量仪JC2000A测量了去离子水和激光织构表面的接触角并和原始表面进行了对比,结果表明激光织构能明显增加液固体表面的接触角,且接触角增加的幅度随织构密度的增加而增大。即可以通过表面织构的方式调控液固表面的润湿行为。用UMT摩擦磨损试验机分别在干摩擦、水润滑及油润滑条件下测试了激光织构表面的摩擦系数并和原始表面进行了对比,结果显示微观织构可以有效的改善材料表面的摩擦性能。尤其在干摩擦条件下,20μm条纹织构使Si表面和Cr12Mo1V1表面的摩擦系数由无织构时的0.4降到0.1左右,磨斑区域也变得平滑且尺寸较无织构区明显减小。即微观织构可以有效的降低材料的摩擦系数,减少磨损,提高材料的耐磨性。