近年来,表面等离极化激元（SPPs）的研究如火如荼,已经发展成为一门新兴的学科—等离激元学。但电子的固有光学损耗对金属（如金、银、铜）SPPs的寿命有天然的限制,金属SPPs的研究及应用主要集中在紫外至近红外波段。不同于SPPs地是,表面声子极化激元（SPhPs）是极性电介质内的声子在外电场作用下的集体振荡模式,它继承了声子的优良特性,如损耗小、寿命长、Q因子高等优点。SPhPs的激发是在极性材料上实现的,常见的极性材料有SiC、GaN、GaAs、和SiO₂。这些材料在长波长范围内存在Reststrahlen全反带（横向光学声子和纵向光学声子之间的频率范围）。SPhPs在中、远红外波段的传感器、光声探测、热辐射源、表面光谱增强及强耦合研究等领域有广泛的应用价值。本文主要研究内容是在SiC和α-SiO₂表面使用刻蚀工艺制备了一维光栅结构,在中红外波段成功实现了SPhPs的激发,我们系统地研究了光栅结构参数、微纳结构形貌对SPhPs的光学特性如Q因子影响。具体研究工作如下:1)利用光刻技术、磁控溅射技术、剥离技术及刻蚀技术,在极性材料SiC和α-SiO₂表面上制备一维光栅结构,成功地实现了SPhPs的激发。通过CST仿真计算分析了SPhPs来源。2)通过改变SiC一维光栅结构的周期、深度、光栅沟道宽度、光入射角及介质层厚度研究了SPhPs的光学响应特性,获得了实现高Q因子的SPhPs的优化条件。进一步地,我们利用了高Q模式的SPhP对入射环境的敏感性,指出其在红外纳米尺制备中的前景。3)通过改变α-SiO₂一维光栅结构的周期、光入射角研究了SPhPs的光学特性,并且得到了高Q因子的SPhPs模式。4)制备了不同二维形状的SiC结构,通过改变结构形状、深度、周期、光入射角对SPhPs的光学特性进行研究,并且得到了激发模式的高Q因子。