高分辨率X射线数字化成像技术研究

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用于电子工业的高分辨率射线数字化成像技术是众多中小电子工业厂家迫切的需求。本文的目的是开发一种低成本高分辨率的X射线实时数字化成像检测的技术与系统。以填补国内此类产品的空白。首先介绍了课题的意义、要求及国内外的研究现状。研究总结了X射线检测的物理基础与X射线成像的原理。分析了目前相对较成熟的X射线数字成像系统的原理及优缺点,研究了胶片成像的评价方法和目前较成熟的射线数字化成像系统性能的评价方法的特点。然后针对课题的要求,提出了基于MCP-X射线像增强器的电子工业用X射线检测系统的设计方案并详细介绍了其研制过程。分析了成像系统的设计思路与总体方案,建立了该检测机系统分辨率的数学模型,并开发完成了该电子工业用X射线检测机专用检测软件。对所研制的成像系统中影响成像质量的主要环节进行了分析研究,对系统成像中图像随机噪声进行了校正并提出了在工程化中帧积分算法的改进方法,对系统成像中固有不均匀噪声进行了校正,提出了曲面拟合的多项式校正算法并给出了校正实例。实验证明,本文开发的用于电子工业的低成本高分辨率X射线检测机达到了课题的要求。与其他成像系统相比有其优势和独特之处。文中也说明了不足之处和需进一步完善的工作。
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