基于AAO的标准漏孔制作及其性能研究

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【摘要】

：

标准漏孔是真空计量技术的标尺,它的性能直接影响着真空测量和真空检漏结果的准确性。目前,常用的通道型标准漏孔存在着形状尺寸不可控、漏率不确定、漏孔中气体多处于复杂过渡流等问题,这些问题的存在导致无法对检漏仪和真空计进行准确的标定和校准。针对传统标准漏孔存在的问题,本文提出了利用阳极多孔氧化铝模板(anodic aluminum oxide,AAO)结合掩模辅助镀膜方法制备新型分子流标准漏孔的方案。A

【作者】

：

赵永恒

【机构】

：

合肥工业大学

【发表日期】

：

2017年04期

【关键词】

：

标准漏孔阳极多孔氧化铝掩模辅助镀膜方法差压法分子流

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