随着现代军事装备的发展,雷达、电子战系统等领域的军事电子系统朝着高频率、大功率和高稳定性的方向发展,特别在大容量通信方面朝着毫米波太赫兹频段发展。当器件工作频率达到太赫兹频段时,固态功率器件存在输出功率小、效率低、体积大和系统成本高等缺点,难以满足当前的军事设备应用需要,微波功率模块（MPM）在这样的条件下应用而生。MPM把固态功率器件和电真空功率器件结合在一起,在很大程度上能够实现优势互补,具备了大功率、高效率、小体积和低噪声等优点。均衡放大组件是MPM关键组成部分,为行波管提供驱动功率和解决行波管增益不平坦问题,其中增益均衡器是均衡放大组件的关键器件。在传统均衡器基础上,对基于超材料的波导增益均衡器进行研究。根据实际项目要求,最终完成了三种均衡放大组件的研究。（1）把波导与超材料单元相结合分别设计出单元结构为一字型和T字型的W波段超材料增益均衡器,解决微带增益均衡器难以应用在W及太赫兹频段的问题。两种波导超材料增益均衡器具备调节相位和衰减的能力,最大均衡量大于9dB,仿真与测试结果误差小,可以快速设计加工。在W波段超材料增益均衡器的基础上,用一字型和T字型单元结构设计两种G波段增益均衡器,具有调节相位和衰减的能力,两种均衡器的最大均衡量大于10 dB,回波损耗优于16 dB。（2）用超材料吸波体代替普通吸波材料设计了一种W波段新型波导谐振腔增益均衡器,解决了吸波材料特性难以仿真及吸波材料使用量无法精确量化的问题。均衡器最大均衡量大于9dB,测试与仿真结果有一定误差,但整体性能良好。（3）将W波段小功率固态驱动模块与一字型超材料增益均衡器级联,构成W波段小功率均衡放大组件;将大功率固态驱动模块与T字型超材料增益均衡器级联,构成W波段大功率均衡放大组件。测试表明,W波段小功率均衡放大组件最大输出功率为15.5dBm,均衡量大于7.63dB;W波段大功率均衡放大组件最大输出功率为30.3dBm,均衡量大于8.59dB,两款W波段均衡放大组件均满足要求。（4）对G波段毫米波功率模块进行研究,设计了G波段固态驱动模块,将固态驱动模块与T字型G波段超材料增益均衡器级联,构成G波段大功率均衡放大组件。测试表明,G波段均衡放大组件最大输出为11dBm,均衡量大于8.9 dB。