近年来随着高反射率（反射率>99.9%）镀膜技术水平的不断提升,高反射率光学元件的应用领域越来越广泛,如何准确测量高反射率光学元件的反射率成为研究人员的关注重点。光腔衰荡法是目前唯一能够精确测量反射率>99.99%的技术手段。在光腔衰荡法测反射率的过程中,由于存在初始腔和测试腔之间的转换,不可避免地导致腔参数的相对失调。现有衰荡腔调节过程严重依赖人工调腔,不仅效率低,而且调腔评价指标不统一,调腔流程不规范,存在人的主观影响,使得调腔问题成为目前光腔衰荡高反射率测量技术自动化、仪器化的技术瓶颈。本论文立足于克服因初始腔和测试腔结构转换导致的腔参数相对失调问题,以提升调腔效率,实现快速精密调腔为技术目标,展开了光腔衰荡高反射率测量调腔方法的研究。本文对腔失调所引起的各种现象进行了系统阐述,包括腔失调对衰荡腔透射信号峰值、拟合曲线、衰荡腔透射光斑模式以及衰荡时间的影响,分析了调节M₁、M₂时光斑变化敏感程度不同的原因。提出将光斑的宽高比及其与外接矩形的面积比作为调腔依据,结合仿真和实验证明了宽高比和面积比作为判断光斑形态指标的可行性。建立了光腔衰荡高反射率测量实验装置,根据M₁和M₂对光斑形态变化的影响敏感程度不同,制定了详细的粗调和精调相结合的调腔策略,并且确定了判断光斑为基横模的量化准则。采用二维可调节镜架调节腔镜角度实现对高阶横模激发的抑制,使初始腔和测试腔透射光斑均保持基横模状态,从而保证初始腔和测试腔腔损耗尽量一致。通过测量不同腔长下的衰荡时间常数和腔镜平均反射率证明了该调腔方法的有效性。与其他调腔方法相比,该方法降低了人为因素影响,反射率测量结果重复性误差低,同时具有简单高效的优点,为光腔衰荡高反射率测量技术的仪器化发展起到一定的促进作用。