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硅微加速茺传感阵列器件是新型的传感器件。该文在微机械阵列传感器的基础上提出了滤波器的新思想，在信号获取的同时实现滤波。文中以阵列滤波器的动态特性进行了研究。给出了滤波器的幅频特性曲线。
微机械阵列滤波器
【摘 要】
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硅微加速茺传感阵列器件是新型的传感器件。该文在微机械阵列传感器的基础上提出了滤波器的新思想，在信号获取的同时实现滤波。文中以阵列滤波器的动态特性进行了研究。给出了
【机 构】
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重庆大学微系统研究中心(重庆)
【出 处】
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中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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