硅微相关论文
针对叉指式结构论述了硅微加速度计的工作原理,应用有限元方法对体加工的高深宽比器件进行了静力学和动力学分析,分析得到的数据经......
设计了一种适用于SOI硅微剂量阵列探测器的单通道前端读出电路.针对SOI硅微剂量阵列探测器读出信号的特点,设计了电荷放大级、极零......
针对硅微谐振式加速度计的高灵敏度输出设计,对作为传感器敏感元件的双端固支音叉敏感机理进行了理论分析,求取了轴向力作用下的固......
采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点，但同频耦合干扰是限制电容检测......
本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率,并考虑了实际换能器振动膜制各有电极薄膜的情况,分别计算了具有......
本文采用NI公司的LabView FPGA模块,实现了硅微光纤传声器PGC信号的数字解调。首先概述了相位载波调制和解调技术(PGC)的工作原理,......
本文对中心频率为71KHz的硅微压电超声换能器进行了2-5阶宽带匹配。该匹配网络采用电感电容元件,具有Butterworth滤波器响应,使换......
本文通过在原子力显微镜上的低载划痕实验，分别在大气和真空环境中对比观察了在不同的载荷和次数条件下单晶硅(100)表面的隆起。结......
本文对聚酞亚胺薄膜的制备工艺过程进行了初步研究,并用有限元方法分析了以该膜作为振动膜的硅微电容式传声器的特性.......
本文在以往的研究基础上,设计制作了一种结构简单可靠的硅微电容式传声器,在9V偏置电压下灵敏度约1mV/Pa,在200Hz-12KHz的频率范围......
硅微加速茺传感阵列器件是新型的传感器件。该文在微机械阵列传感器的基础上提出了滤波器的新思想，在信号获取的同时实现滤波。文中......
该文在擦洗、脱泥工序除去表面污染铁质和泥份的基础上，采用填充柱式浮法设备，结果有效的捕收、抑制等药剂，可将二氧化硅颗粒中FeO含......
ＢＴＣＦ前向探测器是拟建中的τ－Ｃ工厂的粒子探测器中的一个子探测器。它的硅微条粒子径迹探测器和钨酸铅晶体电磁量能器集中了当代粒子物理......
对所研制的硅微压电超声换能器(PMUT)的振动特性进行了研究分析。对硅微压电超声换能的振动膜薄板的厚度相对于薄板的尺度(边长)而......
主要论述全光纤硅谐振微传感器中微弱信号的相关检测技术，研究表明，对于高阻抗信号源，有效信号电流仅为纳安级，信噪比很低，谐振频率高达......
