【摘 要】
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本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片，该芯片利用硅微加工工艺制作，以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验，测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明，在电压小于80V的时候，接触角测量值基本和预测曲线吻合。实验中得到的液滴最快移动平均速度为6.98mm/s。实现了液滴的四个基本操作动作：产生、合并、输运、分割。
【机 构】
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精密测试技术及仪器国家重点实验室,精密仪器与机械学系清华大学,北京,100084;传感技术联合国家重点实验室,北京,100084
【出 处】
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2008中国仪器仪表与测控技术报告大会
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本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片，该芯片利用硅微加工工艺制作，以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验，测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明，在电压小于80V的时候，接触角测量值基本和预测曲线吻合。实验中得到的液滴最快移动平均速度为6.98mm/s。实现了液滴的四个基本操作动作：产生、合并、输运、分割。
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