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通过旋涂制备酰胺酸薄膜，在氮气下高温酸亚胺化制备了聚酰亚胺薄膜。考察了溶液浓度以及旋涂速度对薄膜厚度的影响，获得了厚度约400nm均匀性95%的薄膜。与09年制备的薄膜相比厚度和均匀性(90%)均获得了很大的提高。
亚微米聚酰亚胺薄膜的制备工艺优化
【摘 要】
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通过旋涂制备酰胺酸薄膜，在氮气下高温酸亚胺化制备了聚酰亚胺薄膜。考察了溶液浓度以及旋涂速度对薄膜厚度的影响，获得了厚度约400nm均匀性95%的薄膜。与09年制备的薄膜相
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900
【出 处】
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第十一届全国核靶技术学术交流会
【发表日期】
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2011年7期
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