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提出了一种在微米尺度下测量物体面内位移的新型扫描离子束云纹法.对该方法的测量原理以及变形测量的精度进行了阐述.以平行云纹和......
本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法.对该方法的测量原理以及实验技术进行了详尽地阐述.通过平行云......
分别介绍高频、低频光栅的制作原理和制作实例，并对制作光栅的质量进行评定．...
本文提出云纹高频试件栅高温复制组件工艺,并应用于电子封装组件125℃～200℃,热应变的云纹干涉法测量,得到了封装组件表面在高温下......
【正】 1 引言本篇介绍了云纹干涉法的发展历史,光学原理,实验技术,在断裂测试中的应用及其发展前景。本篇采用的一种非常简单的方......
本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。......
