高熵合氮化薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高熵合氮化薄膜相关论文

沉积时间对高熵合金溅镀氮化薄膜性能的影响

摘要：以高熵合金（AlCrNbSiTiV）为靶材，Ar为工作气体，N2为反应气体，利用反应式直流磁控溅镀在硅晶片和车削刀具上制备高熵合氮化薄膜，探讨......

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高熵合氮化薄膜沉积时间机械性质干式切削

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