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靶-基距相关论文
    磁控溅射膜厚均匀性与靶-基距关系的研究
    从理论上分析了平面磁控溅射靶沉积薄膜的厚度均匀性。根据磁控溅射阴极靶刻蚀的实际测量数据 ,建立了靶的刻蚀速率方程 ,以此为依......
    期刊
    厚度均匀性 靶-基距 磁控溅射 溅射速率

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