非球面补偿器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

非球面补偿器相关论文

用于极紫外光刻非球面光学元件检测的补偿器检测系统

为了实现极紫外光刻(EUVL)投影物镜光学元件均方根(RMS)0.2~0.3 nm的面形检测精度要求，研究了超高精度光学元件检测方法。采用误差......

期刊

测量非球面补偿器光学设计极紫外光刻 measurement aspherical null lens optical design extreme ult

基于自由曲面的大视场推扫式光学系统设计

经济的快速增长下,空间对地遥感在国防和国民经济中的应用越加广泛,高精度、高清晰度的对地成像和遥感技术在旅游、交通运输、环境......

学位

光学设计离轴三反非球面补偿器自由曲面零位补偿CGH

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