非晶SiGe薄膜相关硕士博士期刊学术论文

采用Ni诱导结晶的方法在氧化硅衬底上制备多晶SiGe薄膜．通过X射线衍射(XRD)、俄歇电子深度分布谱(AES)等测试方法对获得的多晶SiGe......