铜薄膜生长相关硕士博士期刊学术论文

建立了亚单层铜薄膜生长的三维模型，用动力学蒙特卡罗方法对亚单层铜薄膜的生长过程进行了模拟，研究了衬底温度和沉积速率对亚单层铜......