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铜互连布线相关论文
铜互连布线及其镶嵌技术在深亚微米IC工艺中的应用
近几年来,随着VLSI器件密度的增加和特征尺寸的减小,铜互连布线技术作为减小互连延迟的有效技术,受到人们的广泛关注.文中介绍了基......
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镶嵌技术
铜互连布线
深亚微米
集成电路工艺
copper interconnect damascene technology CMP dielectric m
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