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铌靶材相关论文
细晶粒高纯铌靶材的研制
采用铝热还原法制备的熔炼铌经过两次真空电子束熔炼得到铌锭,然后在室温下经过大变形程度的反复镦拔获得板坯,再于1100℃下保温1 ......
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铌靶材
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电子背散射衍射(EBSD)
溅射用优质铌靶材的制备
采用相对纯度>99.95%的铌条,经两次电子束熔炼后得到Φ160mm的铌锭,通过锻造→机加工→轧制→热处理→校平→机加工→检测→成品制......
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