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金靶材相关论文
新材料技术领域“大尺寸超高纯铝靶材的制造技术”重点项目申请
<正>1.项目名称大尺寸超高纯铝靶材的制造技术2.项目主要研究内容(1)超高纯度铝原料的制备技术。针对大规模集成电路制造用及TFT-L......
期刊
晶粒尺寸
铝及铝合金
高纯铝
新材料技术
项目申请
真空离子镀金靶材成分和性能的研究
在纯金中加入了银、铟、镍、钯等几种合金元素制成金合金靶材 ,改善了镀膜色度值和耐磨性等理化指标 ,获得了多种色度 ,色度值达到......
期刊
金靶材
成分
性能
粉末冶金靶材的制备与应用
粉末冶金工艺是制备难熔金属、陶瓷和多元合金溅射靶材的重要方法,本文首先对粉末冶金的制备方法进行了总结,并进一步针对靶材的特性......
期刊
粉末冶金工艺
制备方法
金靶材
应用
难熔金属
溅射靶材
多元合金
控制问题
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