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电子薄膜的电子探针能谱分析技术研究
对于电子薄膜材料研究,薄膜的微观结构、成分和厚度是决定薄膜性能的一个关键因素。如何表征薄膜的微观结构、成分和厚度也一直是......
学位
SEM
EDS
薄膜
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微分析
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聚酰亚胺柔性基底上磁控溅射金属铜膜的电学性能研究
为了制备用于挠性电路板中的挠性覆铜板,在聚酰亚胺上使用中频磁控溅射方法制备金属Cu膜.实验中,通过改变制备温度、衬底偏压、制......
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挠性覆铜板
金属铜膜
中频磁控溅射
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