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随着MEMS技术的飞速发展,金属微器件作为微传感／执行器的核心部件在医疗、生物、航空航天等领域的需求日益增多。同时,基于UV-LIGA......
采用离心辅助微模塑法制备微器件,分别制备了铁镍合金微流道、微阵列、微反应器和微齿轮。该方法包括以下步骤：(1)用聚二甲基硅氧烷......
鉴于电铸技术在实现精密金属微结构／器件方面所展现出的独特优越性，依托其为主要工艺手段，以制造微十字和微圆柱两种不同尺度的精细金......
具有特定功能或满足特定需要的复杂形状金属micro／meso结构器件的加工，是非硅基MEMS制造和微细加工领域的一项重要内容。论述了制造......
