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金属化缺陷相关论文

GaAs集成电路的金属化缺陷失效定位研究

介绍了一种针对砷化镓集成电路（GaAs IC）金属化缺陷的失效定位方法。首先分析了GaAs IC不同金属化结构（如金属化互连、MIM结构、肖特......

期刊

GaAs集成电路金属化缺陷光发射显微镜光致电阻变化失效分析

基于失效物理的集成电路故障定位方法

超大规模集成电路后道工艺(BEOL)中的失效日益增多,例如多层金属化布线桥连、划伤,栅氧化层的静电放电(ESD)损伤、裂纹等失效模式,......

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集成电路失效物理失效分析金属化缺陷光发射显微镜

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