重掺硼硅单晶相关硕士博士期刊学术论文

直拉重掺硅硼单晶作为重要的外延衬底材料，具有其优越的特性。由于其硬度大，杂质含量高．在抛光片的加工过程中表现出腐蚀速率慢、表面......