薄膜测厚相关论文
本文针对集成电路制造中薄膜测厚技术在我国申请的相关专利的申请量趋势、专利申请来源地分布、重要申请人以及现有专利状态,为集......
红外测厚是薄膜在线测厚的主要方法之一,为了解决传统的红外测厚方法中尚存在的易受光源稳定性的影响、不适用于高速薄膜生产线等缺......
针对实际生产中遇到的薄膜静电影响问题 ,采用了一种比较巧妙的电路方法———线圈隔离法消除了静电的影响。该技术是一种实用的在......
在各类薄膜的生产过程中,薄膜厚度一直是衡量薄膜生产质量的一项重要指标。在薄膜生产时应该对它进行实时的检测并进行相关调整。......
学位
厚度是薄膜的重要参数,在大批量的薄膜生产中,微小的厚度变化也会导致巨大的用料差,在线厚度监测是薄膜生产线上必不可少的一环。红外......
塑料薄膜作为一种功能材料,已被广泛应用于包装、农业、工业等很多领域。随着应用范围的扩大,塑料薄膜的需求也逐渐增强,其生产规模也......
镀膜行业中,可以采用低频透射式电涡流法测量生产的金属镀膜厚度.根据法拉第电磁感应原理,在镀膜两侧分别放置发射和接收线圈,可以......