自差法相关论文
本文提出一种采用“自差法”检测高精度锥体棱镜的新方法，阐述检测原理与装置，建立检测角度和面形误差的定量判据，并给出一个实例说明......
本文研究了以He-Ne激光器为光源用以测量物体表面粗糙度的多端口探测自相干仪,它测量信号光与参考光的相位差而不受被测物体表面反......
