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能损法相关论文
α粒子能损法测量薄膜厚度的准确性和灵敏度
采用分层计算方法分析用α粒子能损法测量薄膜厚度的准确性与分层层数的关系.此关系表明,采用分层计算可使准确性提高30%.另外,分......
期刊
Α粒子
能损法
能量损失率
准确性
灵敏度
α-particle; energy loss method
energy loss rate
accuracy
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