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耦合倍频机制相关论文
基于耦合倍频机制的阵列结构设计及压力感测特性研究
基于MEMS传感技术的谐振式压力传感器一直是传感器领域的研究热点。目前,随着工业技术的发展,科技社会对传感器检测精度、检测速度......
学位
阵列结构
压力检测
耦合倍频机制
高灵敏度
高精度
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