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闪耀光栅制备工艺与结构保真性研究
针对气体检测中分光应用的闪耀光栅,该文在硅片上制备聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)薄膜,采用热压印及后续工艺制备了硅基的聚甲基丙烯酸甲脂......
期刊
热压印
闪耀光栅
制备工艺
聚甲基丙烯酸甲脂
结构保真性
hot-embossing lithography
flash grating
fabricati
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