结晶薄膜相关硕士博士期刊学术论文

高能脉冲磁控溅射技术（HIPIMS）以峰值功率密度高，金属离化率高为特点，较传统直流磁控溅射（DCMS）具有其独有的优势。将高能脉冲磁控溅射（HI......