纳米级薄膜相关论文
用磁控溅射技术在玻璃衬底上获得了取向单一的纳米级ZnS薄膜．研究了衬底温度对薄膜结构的影响．得出400℃时沉积的薄膜结晶最好，为六方......
沈阳拓荆科技有限公司成立于2010年4月，是国内唯一一家能够生产用于大规模集成电路生产线的量产型PECVD设备供应商。公司致力于研究......
介绍了利用辉光放电光谱法分析金属材料表面的纳米级薄膜。通过优化辉光光源的放电参数，计算标准样品的溅射率。溅射率经校正后，建立......
