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本论文对硕士期间从事的理论研究和实践工作进行了总结。首先对目前较有前途的NEMS加工工艺进行了研究和分类，分别介绍了极紫外射线......
硅微加工技术的进步,使得纳机电系统(NEMS)的实现成为可能。随着器件尺寸的缩小,纳米器件的比表面积增加。纳米材料表面吸附分子或......
纳米悬臂梁是一种灵敏的生物和化学传感器,表层吸附分子或原子会导致悬臂梁发生弯曲或谐振频率发生变化。研究了纳米悬臂梁吸附单......
