纳米压电梁相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

纳米压电梁相关论文

纳米压电梁谐振式加速度计的设计与仿真

迄今为止,基于MEMS技术的微机械谐振式加速度计已得到战略级应用（惯性导航与制导）。谐振式加速度计可将加速度信号直接转换为频率的......

学位

谐振式加速度计纳米压电梁氧化锌压电驱动及其检测高灵敏度

纳米压电梁谐振式加速度计

在现有的谐振式加速度计中,因具有较小的谐振频率和较低的灵敏度而无法应用于高精度制导和空中姿态微调等方面.为此,设计出了一种......

期刊

压电驱动及其检测纳米压电梁低交叉耦合高灵敏度

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