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粒子物理性能相关论文
铈基抛光粉的制备及其在CMP中的应用
由于对高精度光学透镜和集成电路化学机械抛光的严格要求,越来越多的注意力集中到了抛光材料的制备与应用研究上来。本文采用多种方......
学位
化学机械抛光
铈基氧化物
制备
分散稳定性
粒子物理性能
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