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本文研究了硅薄膜不同P型掺杂剂对材料特性的影响,实验发现,BH作为掺杂剂时,掺硼量对材料的生长速率和微结构有重要影响.随掺硼量......
研究了掺杂剂对p型微晶硅窗口材料生长的影响．实验发现，与B(CH3)3不同，B2H6作为微晶硅掺杂剂时，掺硼量对材料的晶化率和生长速率有重要......
