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等离子体分布规律相关论文
ECR等离子体参数空间分布特性研究及制备GaN薄膜中的应用
随着半导体光电材料从GaAs材料向新一代GaN基材料的发展,制备长寿命、高亮度、低能耗的薄膜发光光电材料成为当前半导体光电材料工......
学位
ECR等离子体
等离子体分布规律
ECR-PEMOCVD
GaN薄膜
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