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碳氟聚合物薄膜相关论文

ICP—CVD制备高质量疏水性碳氟聚合物薄膜的研究

在室温下以c—C4F8为反应气体，采用电感耦合等离子体化学气相淀积（ICP-CVD）法制备出碳氟聚合物薄膜，研究了工艺条件与薄膜的光、电性能......

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碳氟聚合物薄膜疏水性感应耦合等离子体化学气相淀积化学键结构 Fluorocarbon polymer film Hydrophobicity ICP-

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