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采用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子注入机引出的Si离子进行了聚酯薄膜(PET)改性研究,注入后的聚酯膜表面结构发生了很大的变化.用透射......
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SOI材料以及SOI器件及有良好的抗单粒子效应和瞬间辐射的能力,但绝缘埋层的存在使得其抗总剂量能力受到限制。在埋层中注入硅离子被......