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【摘 要】介绍了区熔单晶的原理，列举了硅多晶气氛区熔基磷检验过程中电阻率和导电类型异常的几情况，并对异常情况进行原因分析，对实......
本文对几种典型的实测电阻率曲线进行分析,利用普凡公式和补偿后净载流子导电模型对曲线的异常进行了合理解释并用低温红外检测结......
