石英音叉探针相关论文
近年来随着半导体工业的不断发展,集成电路的关键尺寸正向着22nm以下的技术节点迈进。器件尺寸的不断减小,导致关键尺寸成为影响器......
基于石英音叉探针开发了一种自感应原子力显微镜（AFM）测头。该测头通过自身输出电信号检测悬臂振幅变化，无需外部光学检测部件，易于集......
原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)作为一种重要的测量手段,可以实现器件表面纳米级分辨力的尺寸表征,在纳米加工、试样......
设计了基于双ARM的频率调制原子力显微镜,以石英音叉探针作为力传感器,由自激励电路驱动探针振动在实时的共振频率处,并保持振幅恒......
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