白光干涉技术相关论文
为实现对蓝宝石衬底加工过程的质量监控,开发了一套蓝宝石衬底表面形貌检测和评价专用系统.基于经典垂直扫描白光干涉技术,利用其......
The dispersion of Yb-doped fiber is measured by a spectral interferometric technique. The experimental verification is a......
光纤光栅是利用光纤材料的光致折射率变化效应,用紫外激光向光纤纤芯内由侧面写入,形成折射率周期变化的光栅结构,是一种新型的全......
随着现代制造业、微电子、微机电系统(MEMS)以及纳米技术的应用发展,对微结构的测量要求越来越高,其中MEMS阵列器件、MEMS多层结构......
在白光干涉仪巾，白光光源的参数决定了干涉条纹的分布，对中心条纹的识别精度产生直接影响。采用不同光谱形状的光源或改善光源的光谱......
为了解工件加工表面的性能和监控表面形貌的形成工艺过程，需要对表面形貌进行精密的测量。用带有白光光源的Linnik干涉显微镜、一个......
表面形貌的测量方法通常可分接触式和非接触式两种,这两种方法在许多方面具有互补性且各自有自己的应用领域,因此有必要将两种测量......
电力系统是国民经济的命脉,电压互感器是电力系统获得保护与计量用电压信号的重要设备。随着输配电网朝着高电压、大容量方向发展,......
利用白光干涉垂直扫描原理,设计了测量微机电系统(MEMS)表面形貌特征的垂直扫描白光干涉系统.该系统由垂直扫描位移工作台驱动被测......
