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激光制备多层铁电薄膜的C-V保持特性研究
采用脉冲准分子激光工艺在Si(100)单晶基片上,成功地淀积了BIT、PZT/BIT和BIT/PZT/BIT等多层结构的铁电薄膜。通过测量金属/BIT/PZT/BIT/Si多层结构的非回线型C-V特性曲线、电容与保......
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多层铁电薄膜
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