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溅射角退火温度相关论文

靶基距、溅射角及退火对AZO薄膜光电性能影响

AZO薄膜具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等光电特性,在众多领域拥有良好的现实及潜在应用前景。且存在丰富的原材料,......

学位

烧结曲线 AZO靶材磁控溅射 AZO薄膜靶基距溅射角退火温度退火时间相结构电学性能光学性能品质因子

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